陈学兵刚到中芯12英寸晶圆厂,就收到任颖的短信。王兴的事安排好了。他笑了笑,挺想问问怎么安排的。王兴是能从互联网界最残酷的两场竞争,千团大战和外卖大战里杀出重围夺冠的人才,光凭这一点他的能力就数不胜数,产品能力、烧钱效率、地推能力、组织能力、降本增效....也因为这些,名声不太好,克扣骑士什么的。但从商业的角度出发,这个人摆到那种竞争激烈的产品上绝对是个猛将。他心里很重视,有意培养一下,如果能当个统才,又愿意留下来,可以把星联,甚至是更远的布局交给他。但现目前毕竟只是招募一个产品经理,他得习惯把这种事交给下面去做了,否则以后根本忙不过来。眼看,又要控股第五家极为重要的公司了。中芯,如果达到想象中的成就,再与奇点,展讯结合起来,将是一个庞大的科技闭环。而且现在,他渐渐感觉到这个科技链已经开始自启动了,每家公司都有了源源不断的研发动力,只要接上长征和股安建设,乃至上市,融资等一些输血链条,把血管也变得粗壮起来,一颗科技心脏就要开始跳动。有了这颗心脏,越来越多的产品便会铸成血肉,生成巨人的形状。车停下,他思绪回复之时,感觉手臂上都起了鸡皮疙瘩。兴奋,甚至有点震颤。下车,张汝京秘书在工业厂房门口等他,告知人都进了Fab(生产区)。又是一套麻烦的流程,换了一身全包裹的衣服,风淋除尘,静电检测,过了三道门,才进了Fab。讲道理,陈学兵很需要这里,却不太喜欢来这里。“张总,梁总,邱总!”陈学兵看到人打了一圈招呼。大家穿成这样,握手的客套也免了,好在里面很安静,话声很清晰。这还是洁净生产区,有走道和很多区域,如果是放光刻机的超洁净室,连呼吸声都会很明显。“邱总很久没回来了,我带着他到咱们的新厂转转。”张汝京解释道,又指了指不远处透明玻璃的超洁净室,“可惜啊,咱们的新光刻机还没到。”陈学兵看到那片仍旧空荡荡的区域,点点头,有些好奇道:“新的光刻机挺大吧?周围这么窄,那个门也这么小,以后来了设备怎么进去?”张汝京呵呵笑:“看到侧面那面墙了吗?平时是和周围一体的,要保证洁净度,但是有需要可以整面打开,那就是设备通道口,正上方的厂房屋顶位置也有吊装口,打开吊装口,用大型吊车从屋顶吊进来放在通道口,然后清洁,除静电,用气垫搬运车推进去。”“哦...”陈学兵恍然,“机关不少啊。”张汝京不舍地看着周围:“几十亿的厂子,刻蚀机最贵,光刻机其次,其他的清洁、监测、机械,都造价不菲,等会我给你一个名单,以后我不在,要建这样的厂,还得依靠他们。”陈学兵点点头:“放心,你可以继续在半导体行业工作,我每年会拿出一笔钱给你做人才基金会,每年不少于三个亿,上海,苏州,或是周围几个城市,你来定地方,除了硬件,还要培养设计人才,运营方案我会让人给你做规划。”话说着,本来在低声聊天的梁孟松和邱慈云也看了过来。俩人看样子是已经熟悉上了,陈学兵进来的时候就见他们在聊。“陈总,你要投资这么大,就没想过回报,中芯这些年,过得可不容易。”邱慈云主动搭话道。陈学兵笑了笑:“我旗下未来的很多业务都要靠中芯来支撑,只要制程赶上去,我的很多想法就能实现了,总看样子是同意回来了?”邱慈云迟疑了一下,没回答。“回来吧。”陈学兵温和道:“待遇好说,钱也不是问题,订单更不是问题,最多下个月,我会操作一笔53亿的资金投进来,7.05亿美元,后续资金也会源源不断,我保证让你们打一场富裕的仗。”3G产业基金分红以后有本金42亿,加上ARm中国股权转换11亿,共53亿。这笔钱,完全足够梁孟松的前期开销了,甚至足够支付台积电的赔偿和技术授权费。不止是邱慈云,张汝京和梁孟松都有些动容。“以后中芯缺钱,找我融资就行了,股票市场上的反应你们无需再去在意,专事生产和技术研发就好。”陈学兵又补充道。邱慈云深吸一口气。天降大能于中芯,挖来了台积电的研发核心人物,摁着台积电给授权,妥善安置张汝京,还给这么一句承诺。变了,中芯真是要大变了。又是老厂子,有感情。还给他一个董事长职位。他此时已经想点头,只是强忍着几分矜持。陈学兵也言尽于此,给张汝京递了个眼神。张汝京领会,拉着慈云去一边:“老邱啊,以前没有认可你的路线是我的问题,你看,季明华,周梅生,涂良山这些你的老部下,我都提拔到工程副总裁,厂长...”俩人聊着走远。留下梁孟松,盯着那个空荡荡的超洁净室,忽然道:“你确定下个月资金能到位,我就请张总联系ASmL下新的订单了,等机器到了我还要做很多改动,需要些时间,最好能一次拿三台,定制套件会方便一些。”“没问题。”陈学兵笃定道。说着,心里又是惊叹。这神人居然还能改ASmL的新机器。“对了,你那天说XT1900i做FinFET至少要三台联动,如果...ASmL下一代浸没式出来,单次曝光的制程节点更进一步,那就不需要这么多机器了吧?”“不能。”梁孟松打量了他一眼,道:“我已经解释过了,需要多台机器这是工序问题,多重曝光的原理是把一个复杂图形拆分成多个简单图形,更好的光刻机只是能让每个工序做得更快一些,提高总体产出。”梁孟松说到这里又再打量他,眼神里有些疑色。“而且XT1900i在单次曝光制程上已经很难进步,快到极限了,你不知道?”陈学兵有点懵了。我又不是专家,上哪知道去?而且...这才2007年,你跟我说极限?“不可能吧?不是听说ASmL在研究下一代吗?”梁孟松见他瞪眼加迷茫,这才细细解释道:“光刻机的精度提升,离不开一个公式,叫瑞利判据。“计算公式为Cd=1×入/NA,Cd是单次曝光的制程节点,ki是工艺因子,入是波长,NA是数值孔径。“需要节点Cd更小,就必须减小分子,扩大分母,分子k1目前的进步十分缓慢,入波长是193nm,ARF光源,这也无法更改了。“而分母,数值孔径NA=nxsine,是物镜最边缘光线与中轴线的半角,n是介质的折射率。“浸没式光刻机的光介质是水,折射率比空气大很多,约等于1.44,而这台机器的第二代折反式光学镜头已经把拉到了大约70°,sin70°=0.937,NA已经达到了1.35,差不多逼近极限了。“所以,下一代光刻机,大概率只能从套刻精度上下功夫,提升多重曝光的能力,而单次曝光Cd的极限很难提升了。"这次梁孟松讲得很慢,而且很细,陈学兵边听边想,仍皱眉头。“那个...水介质,也就是浸没式,不是降低光源波长来提升制程吗?怎么变成提升NA值了?”梁孟松的眼神和陈学兵对上,陈学兵恍惚间看到了他中午对着王兴一般的无语。不,好像还要更无语。“你从哪学的伪科学?光源的波长进入任何物质都不会被改变,这是七年级物理课内容。”“...我学文科的,再说我们大陆课程和你们不一样,初二才有物理,能搞懂干式和浸没式的区别就不错了。”陈学兵强行挽尊。“好吧。”梁孟松倒也没有纠结,反而赞赏起来:“也是,你这样的投资人愿意了解这些,不多见。”陈学兵口罩下重新微笑,心里也逐渐清晰起来。“那工艺因子,听起来是和工艺相关?是各个厂家的技术决定吧?”“对,这是很多技术决定的,拿65nm节点来说,中芯目前应该0.4-0.45之间,而台积电能达到0.,所以中芯的65nm节点实际线宽可能是68nm,台积电65nm节点的实际线宽可以达到56nm,双方同代下会有性能差,不过这个问题你不用担心,我会逐步调整的,而且0.25就是理论极限,想继续逼近极限非常难,成熟节点的落差最终不会太大。”陈学兵听着,有了判断。那这个k1确实很难产生很大进步了。波长不能变,NA接近极限。除了通过提升套刻精度搞更多重的曝光,dUV已经难有提升了。他这么一想,对EUV就愈发有危机感。EUV光源缩短十几倍,分子不是一下就缩小了十几倍?“EUV...你了解吗?”陈学兵试探着问道。他之前问过张汝京同样的问题,得到的是否定的答案。梁孟松则迟疑了一下:“EUV?你想问什么?”他一时没有思路,只能顺着刚才的话题问道:“EUV...也是靠这个公式进步吗?”“是,不过EUV那样的光源,NA值达不到这么大,首先它波长太短,在任何介质下都会被吃掉,所以传播必须是真空,无法通过水提高折射率,连透镜折射都不行,只能反射,所以它的目标NA值是0.33,很难提升。”其实这个0.33还有一番算法,梁孟松也不再细讲了,直接给了个答案。陈学兵倒是听得心里一动:“这方面的理论知识你都清楚?”梁孟松耸耸肩,笑道:“台积电从去年开始把EUV加入研发路线,林本坚和Anthony Yen负责,尤其是Anthony Yen,深度参与过EUV LLC早期的研究,自带最前沿的Know-how...比起他们,我不算了解。”“能挖吗?”陈学兵立即道。“怎么?你妄想做EUV?”梁孟松反笑:“你不是答应台积电不挖他们的人。”“我答应中芯不挖,没说我不挖。”陈学兵哂笑:“我不动手就好了,不过,我还有一家刚成立的光刻机公司。”梁孟松都上船了,他也不怕直说。有些事想弄明白,恐怕也只有直说才行。“做光刻机?”梁孟松眯了眯眼睛,倒没有太意外,不过随即却摇头:“dUV你有机会,EUV你肯定没机会的,是美国选中了ASmL,连尼康和佳能都被排除在外,他们拿到了美国EUV全部专利技术,还有欧洲几十家关键厂商在支持,至今也才做出第一台试验机,离量产还不知道有多少距离,你凭什么觉得你能行?”陈学兵听得扬了扬眉:“一点也没可能?”“一点也没有,除非你能拿到美国Cymer的全套光源文件,然后得到德国镜片、奥地利传感器、荷兰精密机械、法国光学涂层...剩下我也不太清楚了,反正几十家厂子吧,全部的支持。”梁孟松说到后面,已经带着点揶揄口吻了。陈总又换了个思路:“那...能不能挖他的人?大量那种。”梁孟松皱了皱眉:“你还没听懂?它是家组装厂,纵使是一家人类工业史上难度最高的组装厂,它的技术人员也必须依靠全套供应链的支持才能做出一台试验机。”“我是说...挖人,能不能阻断它的研发进程?”陈学兵顿了一下,缓缓道:“你想,我投入了大量的经费让你研发多重曝光,通过这种方式结合FinFET进入14nm制程,按照你的说法,要五年时间,也许还会更久,如果我们刚做出来,EUV研发量产成功,我们是否又要基于EUV的路线,和别人站在同一起跑线研究FinFET ?”他没有提EUV能不能买,就这么假设了一下。梁孟松沉默了。而后,语气认真道:“我必须现在就告诉你,EUV的分辨率天生就够做FinFET,只需曝光一次,如果EUV量产,我的FinFET技术研发积累依然会有效,但和dUV多重曝光完全不是一个难度,dUV可以说是地狱式的难度,所以EUV一旦出现,必须放弃dUV路径。不过....我之前不提,不是在骗你投入,而是我认为他们在十年內都很难做出可交付的量产机,你的投入不会是无效的,一定有机会走在世界前列很长一段时间,产生的回报会对得起你的投入。台积电不肯走这条路,也有这样的担心,但台积电和中芯不一样,不需要一个翻盘的机会。对于中芯来说,走这样的路意义就很重大。况且对他来说,也不想放弃这样一个金主的支持。“我当然没有怀疑你,我只是说...”陈学兵眼含期待,“有没有可能拖慢他们的进度,让这个领先的过程长一点呢?比如我刚才说的方法。”“挖人?”梁孟松基于自身的立场想了想,认真和陈学兵聊起这个伤天害理的话题,“大概很难吧,ASmL的人才池不是孤岛,是全球协作,补充人员会很快,你能挖他们多少?一百,两百?他们很快就会补充起来。”陈总失望了一下,随后,恶从胆边生。“那如果...烧了它呢?”梁孟松脸颊抖了抖,第一次在陈学兵面前现出了紧张,瞅了一眼张汝京那边,低声喝道:“这么干,会被通缉的!你知道ASmL对美国保密等级有多高?全世界先进光刻机停产,先进制程全部停工,特工,国际刑警都会来查!而且...机器你不想要了?没机器我怎么做研发?”“哦,对。”陈总长叹一口气。妈的,他不产,我也拿不到了。失望之中,梁孟松忽地长长沉吟一声。“嗯...”“其实你真想做,有个很安全的办法。”“嗯?”陈总眼神又亮。梁孟松有点纠结,作为半导体科研人员,应该以全行业进步为追求,实在不该讨论这么伤天害理的话题。奈何陈学兵对他的巨额投入,又不能白费。此时他的立场,竟与这件事捆在一起了。“哎。”他叹了一声,还是说道:“像我刚才说的那些供应链厂子,有的很重要,但他们很多市值低,家族控股,很容易被利诱,你不用去搞破坏,也不用要求他们对ASmL断供,只用要求他们以‘品质升级,工艺优化’这种理由,把ASmL的交货周期拉长一半,甚至一倍,ASmL的整机集成进度就会被活活拖死,而且还挑不出理,没有任何人有理由去查。”陈学兵愣住。梁孟松瞥他一眼,以为他不太满意,又道:“动Cymer也可以,EUV光源是命门,Cymer里面的技术路线本来就吵,你只要能收买技术评审会的人,提一些更完美,更严谨,更费时间”的方案,让他们不断推翻原型,ASmL的整机进度也会被无线拖后,这样就没有破坏,没有泄密,只有“技术争论”,帮你做事的人风险很低。”陈总已经倒吸凉气。“其实按照你的优势,在他们打算融资的时候放消息做空他们...”梁博士还欲补充,陈学兵已经抬手。“够了够了,梁博士,我已经悟了。”陈总这一刻感觉很多事情茅塞顿开,脑子里的思维如宇宙大爆炸一般。腹黑指数+1+1+1+1.....他逐渐笑了起来,抬起的手掌收拢,由衷地竖了个大拇指。“专业。”这个就叫专业!